螺桿真空泵的原理及應用

　　螺桿真空泵，是利用進行一對螺桿，在泵殼內作同步高速增長反向旋轉并起到吸排氣系統作用的抽吸技術設備。螺桿真空泵的工作過程主要可分為吸入、壓縮和排出三個過程。當轉子旋轉時，每對嚙合齒相繼完成相同的工作循環，現在由一對齒描述。

　　吸氣過程正轉子逆時針旋轉，負螺桿順時針旋轉。轉子上端面為吸入段，下端面為排氣以及端面。壓縮過程轉子端面為排氣端面。在這里，陽轉子順時針旋轉，陰轉子逆時針旋轉。轉子上端面為吸入段，下端面為排氣以及端面。

　　排氣過程螺桿泵排氣過程中，齒與排氣孔之間的容積連接，即排氣過程開始。隨著齒之間的容積減小，具有排氣壓力的氣體通過排氣孔逐漸排出?？煽啃愿?。螺桿真空泵進行零部件少，無易損件，因此設備運行安全可靠，壽命長。

　　操作維護方便。良好的力量平衡。螺桿真空泵沒有不平衡慣性力，機器能在高速下平穩運行。適應性強。螺桿真空泵具有強制氣體輸送的特性，能夠在寬的壓力范圍內保持高的泵送速度，排氣容積幾乎不受排氣容積的影響。

　　因為螺桿式干式真空泵轉子齒面間隙小，所以可以去除腐蝕性、有毒、粉塵、可凝結蒸汽等氣體。螺桿真空泵進行廣泛研究應用于企業電子、核能、化工、醫藥、食品發展工業等領域。CVD工藝用于半導體行業的芯片生產、LCD制造、蝕刻、等離子體生產。

　　在核工業中，用于核反應堆和核工業的真空獲??；在化學工業中，用于真空蒸餾和溶劑萃取回收溶劑，在脂肪酸生產中，消除水污染，消除霧化器堵塞；

　　在制藥工業中，該產品還可用于回收液體藥物和藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑，用于食品工業，如香水、香精濃縮、食品包裝。

　　螺桿真空泵的具體實際應用：干燥技術處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑可以回收、油氣資源回收、工廠企業一般采用真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業可除去一個普通環境空氣、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，特別滿足對潔凈真空環境的高要求。螺桿真空泵還可用于真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、單晶、特種氣體制造、離子刻蝕。

　　紡織、冶金等行業在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關技術工藝中應用螺桿真空泵，具體實際應用有：真空作為消泡劑、VOD真空吹氧脫碳法。